的项目的背景
某大一些的半导体鑫霖环保芯片研制制造业企业的属于长角形城市,最主要生孩子销售晶圆和鑫霖环保芯片。在生孩子销售方式中,晶圆激光切割和增加光泽分阶段形成大量的研磨设备液生活污水,平均破坏物量约50吨。基于生活污水内内含高含量漂浮物、合金金属阳离子及巧妙使用剂,间接破坏物会对环镜形成厉害破坏,制造业企业的急缺项目建设的专业整理公用设施。
废水处理工艺组成及来源于
研磨设备液废水处理方法包含从何而来于晶圆加工处理中的药剂学物理磨光(CMP)步骤,包含污染源物包含:
透明桌面颗粒状物
:二空气氧化物硅、空气氧化物铝等磨研科粒,比表面积在0.1-1μm,有机废气浓度将高达2000mg/L。
金属材料阴离子
:铜、铁、锌等,源自增加光泽垫磨损情况及晶圆的表面材料层,铜阳离子浓硫酸浓度约50mg/L。
充分调用剂
:涉及到外观活性酶类剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
碱酸性类物质
:pH值价格波动大,基本上在2-11两者。
净化处理工艺程序程序
面对废气功能,适用“预补救+生化模式+深度.补救”乐队组合加工:
调结池
:平均水质标准用水量,增长强酸强碱调接pH至弱酸性。
水泥混凝土沉垫
:加药PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),避开浮悬物和固体,沉降后SS避开率>90%。
促使钝化
:主要包括Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)化学降解生产生成剂,COD剔除率达60%。
生态学整理
:MBR膜海洋生物反映器进步光降解已满生产物,COD降为100mg/L以内。
阴阳离子交流
:专属不饱和树脂吸附剂铜正离子,水流铜含碳量<0.5mg/L。
砂滤+亲水性炭过虑
:狠抓满水后清清的,提高《废水标准的规定化释放标准的规定》(GB8978-1996)特一级标准的规定。
最后效果好
设计正常运行安全稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。
中水回用率达40%,已满不合格减排,年限制生产废水减排1.5万吨。
治疗成本投入约15元/吨,远压低制造业平均水平。