该晶圆生產设备厂设在华南东北部,主要生產8厘米半导体器件晶圆,平均化工废水做好消费量下跌约800吨。主要是因为生產的过程中运用广泛盐酸做好晶圆蚀刻,导至化工废水里面氟化物氧浓度超过200-300mg/L,远超我国做好产生标准单位(10mg/L下类)。
工业废水基本成分及来源地
生产废水大部分来于四个方面:
晶圆蚀刻工艺
:含高溶液浓度氟化物(HF)、盐酸及一些血本属
化学上机械厂镜面抛光(CMP)废气
:含納米级硅顆粒、无机络合剂
生产设备洗掉焦化废水
:含异丙醇、氯离子等巧妙物
治疗加工制作工艺 过程
采用了"有机化学凝固+混凝土凝固+深度1滤出"三类处置系统性:
考试内容一级操作
:污泥脱水氯化钙和氢氧化的钙,建立氟化钙沉淀物,氟化物除去率达85%
特殊清理
:放入PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),洗去固体态造成的污染源
三阶段加工
:借助多媒质滤过器和过滤性炭过滤,喷水氟化物渗透压稳定可靠在8mg/L左右
关键因素专用设备比如:pH主动调控平台、斜管沉淀出的池、板框设备(废水烘干)。
结果是成果
建设项目作业五年期监测网的数据出现:
氟化物月均盐浓度:7.2mg/L(降到国内标准的)
COD快速清理率:92%
污泥处理含水量率:≤65%
年回收凭借氟化钙副护肤品约150吨,进行教育综合凭借凭借