该厂为8屏幕尺寸晶圆生孩子线模块化的超软水机系统,每天晚上引发含硅化工废水150吨。化工废清水中虽无巨资属,但硅含水量高易结渣,且内阻率需实现18MΩ·cm这样才能回收。原本的办理工学院艺始终无法 具备新制定的《电子为了满足电子时代发展的需求,重工业水环境有害物质产生细则》(GB39731-2020)专门产生标准值。
废气化学成分特色
主要的的空气污染物
:橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、科粒硅(粒度0.1-1μm)
比较特殊想要
:TOC<10μg/L,硼份量<5μg/L
水污染形态
:低电阻率(<50μS/cm)但硅无机化合物性状复杂化
办理施工工艺具体步骤
去创新利用"梯级膜离心分离+电去化合物"乐队组合工艺流程:
微滤预清理
:1μm淘瓷膜短信拦截大顆粒硅,通量提升80LMH
铁离子置换环氧树脂
:D201大孔环氧树脂使用性气体吸附硅酸碳原子
二级考试RO装置
:第1段回收分类处理率60%,二、段用高脱硼膜开关元件
EDI电去阴离子
:交流电导热系数2A/m²,持续性祛除残存化合物
红外光谱臭氧消毒
:254nmUV紫外光线线的用药量40mJ/cm²
的技术闪光点
定制开发专门的阻硅剂(巧妙胺类分手后复合物),廷迟膜废弃物周期长3倍
EDI版块创新技术流道设汁,硅快速清理率加快至99.8%
上线硅研究仪(校正条件0.1-500μg/L)实行精准脱贫设定
开机运行作用
经第二方测量:
总硅从280mg/L减至0.05mg/L
硼含锌量从8μg/L降为0.3μg/L
系统收购率从原40%加快至68%
膜改换时间是提高至5年,年正常运作资金减少35%