某半导体芯片研发的企业因晶圆擦洗工艺流程产生含氨生活污水,排水量200吨/天。生活污水底除氟化物外还内含氟化物和轻微血本属,工作高难度大。是时间排卸标淮标准氟化物<5mg/L,氟化物<3mg/L。
焦化废水基本成分及源
晶圆洗涤废水处理工艺(具体来源于):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工步生产废水:含少量铜、镍等高价属,pH值下降大
CMP考虑废气:含硅颗料及化学需氧量
治疗制作工艺具体步骤
适用"化学反应沉定+膜溶合+折点氯化"女子组合生产技术:
预工作
:污泥脱水CaCl2除氟,操控pH在7.5-8.
反渗透装置模式
:避开0.01μm往上颗粒状物
反进行渗透提液
:将化学需氧量溶缩至1000mg/L上文
折点氯化
:准确掌握氯污泥脱水量,将挥发酚有效的转化为N2
铝离子传递
:基本保障血本属及格
以后功能
化学需氧量稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属含量的底于的检测限
水造纸废水处理率达75%
废水出现量减掉40%