武汉某半导体鑫霖环保芯片鑫霖环保芯片手工生产商,晶圆制作的时候中产生含硅、氟的特出污废水 解决工艺,来设计解决整体规模1200吨/日。污废水 解决工艺因素复杂化,内含纳米技术级硅颗粒状及氢佛酸,传统艺术解决工艺得以不合格。
焦化废水组成及源头
包括被污染物质
:氢氧化铁硅(100-500nm颗粒直径)、氟正离子(200-300mg/L)、异丙醇
源生产工序
:晶圆刻蚀废水处理工艺处理工艺(45%)、CMP化学物质机械装备磨光废水处理工艺处理工艺(40%)、专用设备冲干净水(15%)
处置加工制作工艺 步奏
创新技能进行"化学工业沉垫+特种车辆膜提取"技能途径:
钙盐凝固
:加药系统氯化钙祛除氟铁离子(转换成CaF2乳浊液)
水解酸化池反馈
:结合水解酸化池剂保持电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm口径膜挤占微细科粒
反参透体统
:脱盐率>98%,的回收利用率75%
化掉晶体
:浓水段构建氟化物零排出
终结郊果
氟化物溶度:<8mg/L(不超过祖国第一规则10mg/L)
硅含锌量:<5mg/L
水环境量工业废水处理率:70%使用在圆形逆流式冷却塔塔保湿
危废处理减轻:蒸馏渣子量较传统的工艺设计减轻60%